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文章出處：技術(shù)支持|閱讀量：2861|發(fā)表時(shí)間：2021-04-01
潔凈室之于研發(fā)新產(chǎn)品、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量都起著舉足輕重的作用。這也是現(xiàn)在光學(xué)微電子、醫(yī)療器械、LED/液晶/線路板制造、醫(yī)療手術(shù)室、電鍍/噴涂塑料化工制品、生物制藥、食品飲料、光伏新能源、潔凈實(shí)驗(yàn)室、汽車/航空等等行業(yè)都依賴潔凈室的原因。潔凈室最主要的作用就在其能控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)。 晶圓車間對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴(yán)格的控制要求，且各種配套系統(tǒng)繁多復(fù)雜。CEIDI西遞設(shè)計(jì)師常規(guī)也會(huì)采用FAB布局設(shè)計(jì)。
設(shè)計(jì)指標(biāo)及參數(shù)要點(diǎn)：
1. 因其對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的恒溫恒濕溫控制要求很高（溫度控制在22℃±1℃，相對(duì)濕度控制在43%±3%）；
2. 生產(chǎn)大環(huán)境的空氣潔凈等級(jí)為千級(jí)（ISO 6級(jí)）；
3. 光刻等特殊區(qū)域的空氣凈化等級(jí)十級(jí)（ISO 4級(jí)）；
4. 規(guī)范要求空氣凈化等級(jí)（ISO 1-4級(jí)）的凈化室采用垂直層流：上技術(shù)夾層（送風(fēng)靜壓箱）中的空氣通過FFU（風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組）輸送至潔凈生產(chǎn)層，氣流通過高架地板及華夫板孔洞送至潔凈下技術(shù)夾層，再經(jīng)過回風(fēng)夾道中的DCC(干冷盤管)回到上技術(shù)夾層，循環(huán)往復(fù)。
此外Fab工廠會(huì)使用大量的易燃易爆、毒性化學(xué)品，且種類繁多，因此設(shè)計(jì)師在設(shè)計(jì)過程中要格外注意根據(jù)規(guī)范設(shè)計(jì)甲乙類氣體、危險(xiǎn)化學(xué)品，甚至惰性氣體的存放和分配間應(yīng)靠外墻布置，且酸性，堿性，有機(jī)類化學(xué)品存放收集間相對(duì)應(yīng)的室外還應(yīng)預(yù)留足夠的槽罐車裝卸場(chǎng)地面積。消防設(shè)計(jì)作為Fab工廠設(shè)計(jì)的難點(diǎn)和痛點(diǎn)，設(shè)計(jì)師要在防火分區(qū)設(shè)計(jì)、防泄爆設(shè)計(jì)、專用消防口的設(shè)置工作中投入大量精力。《硅集成電路芯片工廠設(shè)計(jì)規(guī)范》、《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》這四大規(guī)范作為晶圓車間設(shè)計(jì)的主要規(guī)范，每位設(shè)計(jì)師需研究透徹并作為設(shè)計(jì)依據(jù)加以實(shí)踐。
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